2020年中船重工七一八所四种高纯电子气体材料产能将居世界第一

本报讯5月18日，记者从中船重工七一八所特种气体产品推介会暨一期项目投产、二期项目开工仪式上了解到，该项目总投资32亿元，2017年4月开工建设。2020年全部达产达效后，将年产高纯特种气体2万吨左右，年产值将突破45亿元，三氟化氮、六氟化钨、六氟丁二烯和三氟甲基磺酸四种产品产能将居世界第一。

高纯特种气体是半导体发光元器件产业、半导体高端存储处理芯片等高端新兴行业所急需的原材料，对打破美日垄断，提升我国集成电路产业的核心科技水平和竞争能力具有重要意义。

据介绍，七一八所有50多年从事气体相关产业的研发和生产经验。为打破国外厂商高纯电子气体在半导体领域的垄断，他们积极跟踪国际氟化工前沿技术，加大探索新技术研发新产品的步伐，先后开展六氟化钨、高纯氘气、三氟甲磺酸系列产品等20多种高纯特种气体的研发工作，陆续投资1亿多元，自主开发出六氟化钨、氘气、三氟甲磺酸、三氟甲磺酸酐等新产品，并申请专利34项，获得授权18项。目前所有这些产品涉及关键核心技术40余项，均处于国际先进水平。据了解，目前，七一八所三氟化氮国内市场覆盖率达到95%以上，国际市场覆盖率达到30%;六氟化钨国内市场覆盖率达到100%，国际市场覆盖率达到40%。

作为国家“02专项”气体组项目的牵头单位，七一八所已经成功研制出四氟化硅、六氟乙烷、八氟丙烷、八氟环丁烷、氯化氢、氟化氢等9种高纯气体及10种混合气体并成功进行了产业化，相关产品得到了中芯国际等半导体龙头企业的测试认证。

会上，联华电子股份有限公司、京东方科技集团股份有限公司、华润微电子有限公司等客户代表做了发言。台积电、京东方、中芯国际、华星光电、三星、东芝等60多家半导体厂商代表参加会议。与会代表还参加了特气项目产业发展研讨对接会，就进一步开展合作、推进特种气体及半导体行业发展进行了深入交流探讨。